Karl Suss, 2-Bahn-Belacker M2000
Karl Suss, Mask aligner MA 150
Karl Suss, double side Mask aligner MA 25 for 6"
Vagatherm Anlagetechnik GmbH, Vakuum-Coating System PVD 550 G 1233
Automatic Coater and/or developer
Cluster Tool CT-100 entwickelt und hergestellt bei Reinraumtechnik Lanz ist eine modular aufgebaute Belackungs Anlage mit zwei identischen, unabhängig von einander steuerbaren Spuren. Das integrierte Handligssystem transportiert die Substrate voll-automatisch.